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电子半导体废水怎么处理|电子半导体废水如何处理

该晶圆制作业厂为于苏北地段,具体产生89英寸半导体芯片晶圆,单日工业废水排放要求口量约800吨。致使产生进程中用巨大盐酸做出晶圆蚀刻,造成工业废水下氟化物溶度更是高达200-300mg/L,远超部委排放要求口要求(10mg/L一些)。 废液组分及來源 污废水 最主要来于二个节点: 晶圆蚀刻制作工序 :含高含量氟化物(HF)、硝酸铵及一点血本属 化学上机械性增加光泽(CMP)废水处理 :含纳米级级硅颗料、有机化学络合剂 设施冲洗废水处理 :含异丙醇、化学需氧量等有机质物 处里工序工作流程 选取"催化石雕文化沉淀物+水泥混凝土石雕文化沉淀物+的深度过滤系统化"三级职业资格证书外理系统化: 一级通过成绩治疗 :加药氯化钙和氢钝化钙,构成氟化钙沉淀自己,氟化物弄掉率达85% 特殊治理 :使用PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(pe塑料酰胺),去掉橡胶胶体部分态被有害物质 三级视频净化处理 :采用多媒质脱水器和亲水性炭气体吸附,出水出水氟化物浓硫酸浓度相对稳定在8mg/L接下来 核心仪器是指:pH自功上下调整系统的、斜管凝固池、板框刮刀离心机(飞灰烘干)。 进而使用效果 工程项目正常运行5年监测方案报告数据报告表现: 氟化物总值溶度:7.2mg/L(最低国要求) COD取除率:92% 飞灰水分含量率:≤65% 年出售氟化钙副的产品约150吨,达成产品化通过

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