该晶圆制作业厂为于苏北地段,具体产生89英寸半导体芯片晶圆,单日工业废水排放要求口量约800吨。致使产生进程中用巨大盐酸做出晶圆蚀刻,造成工业废水下氟化物溶度更是高达200-300mg/L,远超部委排放要求口要求(10mg/L一些)。
废液组分及來源
污废水 最主要来于二个节点:
晶圆蚀刻制作工序
:含高含量氟化物(HF)、硝酸铵及一点血本属
化学上机械性增加光泽(CMP)废水处理
:含纳米级级硅颗料、有机化学络合剂
设施冲洗废水处理
:含异丙醇、化学需氧量等有机质物
处里工序工作流程
选取"催化石雕文化沉淀物+水泥混凝土石雕文化沉淀物+的深度过滤系统化"三级职业资格证书外理系统化:
一级通过成绩治疗
:加药氯化钙和氢钝化钙,构成氟化钙沉淀自己,氟化物弄掉率达85%
特殊治理
:使用PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(pe塑料酰胺),去掉橡胶胶体部分态被有害物质
三级视频净化处理
:采用多媒质脱水器和亲水性炭气体吸附,出水出水氟化物浓硫酸浓度相对稳定在8mg/L接下来
核心仪器是指:pH自功上下调整系统的、斜管凝固池、板框刮刀离心机(飞灰烘干)。
进而使用效果
工程项目正常运行5年监测方案报告数据报告表现:
氟化物总值溶度:7.2mg/L(最低国要求)
COD取除率:92%
飞灰水分含量率:≤65%
年出售氟化钙副的产品约150吨,达成产品化通过