济南某光电器件鑫霖环保芯片制造技术厂，晶圆制作的过程中生成含硅、氟的特种废气，的设计净化处置市场规模1200吨/日。废气有效成分复杂性，包含纳米级级硅颗粒肥料及氢氧化钠，经典净化处置技巧得以符合标准。 废气部分及主要来源 其主要弄脏物 ：悬浊液硅（100-500nm粒级）、氟铝离子（200-300mg/L）、异丙醇 来自制作工艺 ：晶圆刻蚀废污水（45%）、CMP化学反应机制打蜡 废污水（40%）、机 冲刷水（15%） 整理的工艺具体流程 什么是创新按照"化学物质沉淀出的+特殊工种膜剥离"技能途径： 钙盐沉淀物 ：加药系统氯化钙剔除氟阴离子（合成CaF2积淀） 二沉池现象 ：黏结斜板沉淀池剂达到胶体溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm粒径膜挪作他用微细小粒 反固化系统软件 ：脱盐率>98%，二手回成品率75% 汽化心得 ：浓水段满足氟化物达标排放出 之后疗效 氟化物浓硫酸浓度：<8mg/L（不超过地方特一级标准规范10mg/L） 硅含水量：<5mg/L 水产品中水回用率：70%用在加热塔皮肤补水 危废处理减轻：蒸发掉杂质量较经典鑫霖环保变少60%